|
消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。 7 K- [# l, l* Q1 b
应用背景 1 O7 \$ b( E2 S; n7 ?: N& R4 y
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
+ E/ d+ t& ~) J7 G K( ]
& S! M) r6 f+ O- M8 T- \, O 图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
$ n9 k5 n5 g2 ]8 X$ x9 ~% V5 p2 t2 @; v 应用测量原理介绍 7 i- X8 _& @; ? g0 o& H% y
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： 6 B, `3 a/ a. E' e
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 # Y( k/ {( ?5 K3 t0 ^
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 % h0 m D' T7 I5 }
微型光纤光谱仪优势 ( h+ m: P: Q. B% k' r5 G# c
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
" M1 s$ I; M; N- Y7 m# J 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
' {7 Y. a- r6 E' i" y+ P4 [
" r/ n% R, j2 C / Q ?, r, Q$ l5 I- z0 t- k
4 d I( E/ c6 d# u 紫外/可见光波段 # z* M0 U* v" D: Y6 ^: E' g1 ^
近红外波段 ' D o* V' S* E7 Y" f, [( N
光谱仪
1 @' s9 E( }4 Y5 @1 z' V USB系列, HR系列, QE65000 - P7 l6 X2 h# N8 Y4 `1 e
NIRQUEST
: V: k2 h% a) Z: k 软件 , x/ M+ ^+ u5 L4 o! q
Oceanview 1.6.3 9 R+ A. L. B v! O- R$ W
光源 7 _3 L, ?4 I5 L8 s3 h0 ?
DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
* C4 P, t& R3 I5 _ 光纤 9 ^! u# U. M2 i. K8 x o
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头 5 ?% e! x! N# }. n' C
VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 * Y: n9 X( Q- e2 ]: u2 l$ E) W* Y$ J
附件
+ r, t8 `/ i$ ?" I 74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
/ F6 M% I2 c, |, L $ d8 Z* J4 y7 B8 w: T
0 L' n( k* z: x# ]2 b
, P* S2 Q: ]! \1 Q# T$ T
$ D5 k7 X! f/ ~
图2. 薄膜透过率测量系统配置
. {* l, m( S8 C$ [
( ^# @* B& L% s: D9 w 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率 ! h1 K4 O9 Y3 e* g
2. ITO薄膜膜厚检测 6 C/ y/ P( B8 F
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下：
3 B( c' A) W7 [' c0 K , [9 R$ H# F5 d+ A( m
图4. 薄膜厚度测量系统配置 7 }6 J8 a1 }( L
, n' T+ u4 c* Y; C. h
图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
/ E. q! X5 u/ p9 f+ \ P9 S& Q2 Q2 U
图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
$ Q. _6 o$ a: ~+ M! w" Y# P: W# k
. Z0 S( l9 G6 u! T9 h# I1 u
% S, d, P4 g+ @3 { E4 ~1 d3 @: P; {4 w' \2 h& |' y% K2 n* H
, |% N9 |3 ^+ \4 C1 f+ y
| 
