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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
: N1 v* u6 e' w7 w8 b N. q" s* `, M 应用背景 5 b) B" w0 c7 h7 n9 u0 i
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 % U# n, ?5 b& o) V; Z( D; b+ a
应用测量原理介绍 g5 _1 ]+ E8 o
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： % j/ W" Z7 p% c& r7 r B: m
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
' f% z6 \' z' y n) h* j 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
. N8 M$ I1 I; d; D' x' k 微型光纤光谱仪优势
E& G0 X4 p& U! s 微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 5 a" [9 o/ w. Q% n( t
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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' n! J! m/ T' ^5 H' ~1 l9 M0 Q( j 紫外/可见光波段 9 U0 {7 p2 t( ^) i2 K I
近红外波段 1 K; s% `5 P0 u1 W* a( ]
光谱仪 ) f3 S; y2 S* C7 f: R8 y1 T$ B
USB系列, HR系列, QE65000 ! k) o1 `0 q; j/ R" J# Z- Y
NIRQUEST
. H, q! U4 A9 P' {. k 软件
V3 d! [3 E# k, U Oceanview 1.6.3 - Y1 O5 B- L& k
光源
, D t) D! u# W3 H3 o( G DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
" A+ T- L1 u, K1 f1 z 光纤
% S8 x: T" l) z) M UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
! ~/ Z3 H1 q& R& K4 J" p VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 & Q4 f- I3 p8 `" q) L7 p$ S
附件 3 u7 F: e0 s# e4 W! S- e
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T 7 I1 }- P: h) G; |9 Z, U
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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. i) r' N. S+ S1 {# w 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
! @" e; Z% @% i0 |! }& u6 |* p& D 2. ITO薄膜膜厚检测 ' N, g. \4 `' h+ ^* r
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： , C7 y! V) {, ]% a1 y/ a
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图4. 薄膜厚度测量系统配置
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/ H8 s2 y3 C! U- P3 o5 p" |& g 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 : `: i& |& ?* j( ~2 S# ^
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图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 0 Q6 |7 A% E5 R$ l$ K5 q
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