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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
" b; S; V# G7 ~7 O 应用背景 5 ~! Z2 Z x, `- _6 b# O# H
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 9 B4 M- Z# i H! B/ n# I
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 ; i3 ]' s9 v% n' k# j; m, D8 y
应用测量原理介绍 , r: M' u8 h' j6 g# V9 p. J
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： ( r* O/ b/ ~7 w' w) {
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 2 O: p' L/ ]& @5 f3 j
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 5 n0 d% U2 u3 Q0 a' |4 S
微型光纤光谱仪优势
) C2 \6 ^: n2 ^& z" K: H 微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 / ~' e5 Q, z, T( x2 @5 {
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： ! f0 r B: _7 z; F" j
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1 s+ f2 h1 B3 s) |, q( p 紫外/可见光波段
0 F& w3 I4 j: u0 d( ^% B6 B* t 近红外波段 $ _2 e: o @2 A
光谱仪
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5 |( T" Q5 j' k6 [ NIRQUEST
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Oceanview 1.6.3 ' X4 [6 L% ~0 M# a1 V$ p
光源
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光纤
4 w( @* ?* J1 l$ q5 b9 G UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头 9 E9 I4 M+ w1 X+ m0 Y- x" b: I2 L
VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 , i6 P7 c1 `( Q! C" F8 v: y
附件 - m6 J: g3 v% B! E" \% c
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T ! {( }9 W$ W0 P, ]
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1 i& y) v5 R9 e$ f5 e. Q) G 图2. 薄膜透过率测量系统配置
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
, f/ q; y% p$ X/ j' { 2. ITO薄膜膜厚检测 0 L' [+ U2 U) k$ p4 ]5 p E
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下：
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7 R5 K9 I4 N S 图4. 薄膜厚度测量系统配置 7 D: G% t; g/ ~
8 b) h0 }9 K$ S! O 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 g7 j" A7 E& T$ B+ M1 H/ K$ ] j) A
+ h7 B& ~2 B4 i& v 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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