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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
, M z) t4 \1 _/ y 应用背景 ( G& W% G; U0 s3 e9 y( H! Z7 w
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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3 t7 w9 E; _0 R2 ^/ I; J. K# K 图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 3 Y( h$ |+ d1 n8 c; X1 H9 v
应用测量原理介绍 ) f1 W6 ]' e/ t2 k3 K
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
& P1 S4 C* p1 }; i% B9 _, Y: l$ f 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 : V( E8 s% _* V+ i3 F
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
: J" X( B1 h) Y9 x. g+ ]( y 微型光纤光谱仪优势
0 ]: ?6 ]8 W2 Z$ l# i4 g 微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 6 c3 o2 \7 i' K$ e0 b" H, Z3 |: e( j
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： 1 w4 r3 y% r; n) ]% J. c/ t
0 Q8 Z/ w9 T$ Y- U
1 Q' Y& y9 s+ a
8 B* u# @/ U( b6 K1 d7 P 紫外/可见光波段
. I6 R1 s, s% h2 l) g7 C' E; a 近红外波段
# W8 \- w; m3 p 光谱仪
3 x3 t1 r9 a- ~ h. \ USB系列, HR系列, QE65000 2 j. }! j) K& V: L& ~% J
NIRQUEST 8 Q% X& {0 q% ~( X2 w$ _6 M
软件 5 l Q% u: \2 e% ?7 O# W6 H
Oceanview 1.6.3
- y. N7 w+ F" |0 ]; @/ H1 w3 V 光源
7 E5 B4 k4 t) n DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
p. p3 B1 ^6 }6 Y, k& F$ b! C+ Q 光纤 $ k+ o0 @# ]' ?
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头 " X5 t4 i0 d# y
VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 4 h2 s# w2 q; q) ?0 p2 r1 T0 O
附件 + N! G( e' G) X# d
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
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* ?: d" n9 L/ N/ I: ], _2 E' g 图2. 薄膜透过率测量系统配置
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
6 S0 M- N8 ]6 \9 ^; P2 I 2. ITO薄膜膜厚检测 % K2 G) C; u6 s, s# R4 P7 h* M
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： " s0 {/ ~) S2 T0 }
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图4. 薄膜厚度测量系统配置 4 n% }/ m% Y+ b7 y4 r9 s
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 6 ^4 C* L, E) f9 l% i$ G
2 s6 y; D: p- d5 y* w- B 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 8 n; ?, i6 U8 s3 Y1 k! H
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