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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。 5 Z1 H8 R2 G% I9 A& E* V s% ?
应用背景 6 y& Q% Z; ?6 {1 t6 O8 ^+ O# K
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
/ F6 ]& e. k+ B# T: M7 E' N 应用测量原理介绍 + e5 m+ z$ E% e; }" t
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
( Y' z% q% g: Q( c* o 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
4 ^( { s5 ?" @# S" s 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 9 Y, \: R6 H8 X$ U4 I
微型光纤光谱仪优势 " U5 [% O; Y: f2 L9 l; G8 f. g x
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置 . ]6 r8 u0 p+ A4 K. [
1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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紫外/可见光波段
9 G. }( `5 N( G 近红外波段 1 A4 i5 L! G U [2 c2 y1 H' Q
光谱仪 % A6 ? p" H W& K6 E/ Q; y
USB系列, HR系列, QE65000 + z# N$ U: v8 U$ u
NIRQUEST 3 `3 P# i" v5 P p- O2 _# f% f9 o
软件 . k, x; [* {& j+ v3 D. a
Oceanview 1.6.3 ' B4 I" p9 h9 |1 \
光源
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光纤
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VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头
: F2 t# R4 [2 l. T- a2 ` 附件
: u8 I1 ~5 W6 U. c+ t 74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T 1 e- i8 B7 R# h4 j' h6 ?1 L
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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/ w5 x7 `' W! G0 [3 o* O- x' z 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率 4 p- P& C$ r3 j# C& V" N
2. ITO薄膜膜厚检测
( h# u4 x9 Y" A 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下：
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0 B( g* g1 b5 E4 I$ ], R 图4. 薄膜厚度测量系统配置 $ U1 E! R x- [' ^4 g2 f2 ^( I4 A
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数
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图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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