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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
# J, t- W9 A; e( F7 t: ? 应用背景 : m3 { o0 U9 G( ^# X A1 V
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 ) }- S# N2 e/ _* S- o6 z
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 & k3 b8 d" A5 [$ Z! H! T. p7 t+ c
应用测量原理介绍 , q' r; `# b G7 O9 X: s+ q/ Q
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： + M7 s" b+ Z% d ?. _8 g
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。
0 ?$ o" T2 _* \6 s' v7 {0 s 薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 ' J/ J) b. K8 C- R, `1 `' e
微型光纤光谱仪优势 ) u0 k% h9 [* U% L" K7 `3 A
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
8 v7 T+ I0 H$ ^+ t. E/ o 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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紫外/可见光波段 1 r# R/ R! r+ P
近红外波段 ; C1 _1 P6 { P# y
光谱仪 1 k3 C( X p% P/ n3 ?1 t& Y
USB系列, HR系列, QE65000 1 d' g+ D- F- W8 ?- Y% W
NIRQUEST
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a( M- I0 x- p Oceanview 1.6.3
8 k x3 r7 i2 t. T 光源 n$ w) X" k1 U
DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
* Q0 Z% r9 U; \6 S/ Y& A 光纤
( o& p: y) ?: f4 M1 F; f UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头 7 _9 c7 \: F5 o8 ]
VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 9 a: N6 R) T: r% w3 _0 n
附件 5 i2 w9 w, d/ `( ^1 w
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
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+ }5 \+ }7 S& k) e# Y# ?1 }6 g( d 图2. 薄膜透过率测量系统配置 / a; b% Q4 b+ Y; S# T" x0 T8 d
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图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率 3 N0 Z# P$ Y( o* H0 y* v' x% V
2. ITO薄膜膜厚检测 % ]3 c( i4 h$ N
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： & O# I! @' H; r* k
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图4. 薄膜厚度测量系统配置 ) v$ f* j& y4 ^0 u* T& O2 m3 w
& t. K$ B8 \+ @' V 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 6 B" @+ H5 A5 z6 J5 E- B- b7 H
7 c5 c7 M5 O: m" t 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例 w6 x. Q; F$ ]3 ~. K' L
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