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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。 8 R$ H4 n7 R! R9 ^
应用背景
1 W' ^& E' ]7 j; I B& Y5 X OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。
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! ]6 [& s$ _' d; E q* c 图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏 + A. G/ I9 ?( E
应用测量原理介绍 0 `0 _4 N6 i% U+ {* I/ R
ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： , E% ?9 C% |( ^4 r4 F$ ], G
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 / ^% k# D4 X9 _
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 6 [8 u2 @/ t5 W) V, Y0 Z: [" z" H
微型光纤光谱仪优势 2 s: e& v- H% s6 y# n
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
) x8 @4 l8 E. ~5 [ 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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紫外/可见光波段 N" D! t5 v( d5 ^
近红外波段
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USB系列, HR系列, QE65000
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软件
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光源
1 g; n2 Y' x3 V( ^+ k" K# [, g0 d DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS
. t/ w3 D: d8 k: V9 Q 光纤 7 f, \# s. W/ X. ^
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头 2 ^5 g$ w+ v" F
VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头
0 f" @0 q1 B7 J 附件 7 Q G5 C, v$ e0 M f
74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
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% k& R' x$ I( `7 n6 t, U 图2. 薄膜透过率测量系统配置 ! O. X( d, b: K1 Z) }2 j
9 ?* M! ~4 v9 P# }/ } 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率 $ M d1 M7 u8 h# ]5 m
2. ITO薄膜膜厚检测 : R) ^8 v1 [7 M/ n. S1 x* U3 T$ \
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下：
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: E( z. U& ?6 O3 l! @' f 图4. 薄膜厚度测量系统配置
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 & \( }$ [) @% J
. J7 i4 K2 E: c, l4 Q 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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