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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。 5 }8 t9 }: N; ?+ m6 i" y
应用背景 ) A0 _9 [$ K5 }. }
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 * e9 E; y% R7 b5 T
" J3 s, U. s' `( D/ Z- G 图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
- u H4 q7 u) Q/ R' I0 o0 b H! j- |) J2 k 应用测量原理介绍
$ l4 |( ?2 [6 M1 R/ B, [ ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下：
) k q* d( n4 V- p& W 透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 4 }8 b C X( |, ?1 u( E7 D6 O
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。
, f9 @2 T- Y! i2 @" K) q. l: O 微型光纤光谱仪优势 % i6 J/ ?4 F+ w/ k
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
) {' H/ X9 Z; r& A) ^ 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下：
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紫外/可见光波段
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光谱仪
, ~1 F4 r& d0 O USB系列, HR系列, QE65000
1 F. G- }+ j! j! i8 E NIRQUEST 3 X4 g& |% J2 |" @- Z
软件
( i+ H5 e; O1 t: f( I' s: Q Oceanview 1.6.3 ! e8 T* m5 J4 E6 g
光源 ( `* v! M. @. X* @
DH-2000, HL-2000, DT-MINI-2-GS 3 m% m7 N6 ` ]+ Z6 m# W
光纤 3 g5 F j3 L0 t% ^+ g; j
UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
) {1 S- {% s& B4 G$ L VIS-NIR Low OH content, SMA 905接头 % J- n6 y( v$ M
附件
% v5 _; \# a2 t7 ?8 d. k 74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T - l; S7 F; ?4 |4 H4 ]3 F+ @1 b
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图2. 薄膜透过率测量系统配置
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( `: B" e& C \$ U( B& v 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
2 m& h0 o8 X/ s6 `6 O 2. ITO薄膜膜厚检测
# f5 S1 h" B5 V 海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： , p6 R0 F! B Z% I
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图4. 薄膜厚度测量系统配置 : `9 y9 u% v/ W5 g8 Z/ r- k
: ]4 U$ x4 @0 { 图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 - i( O! P/ P: u, R+ v5 q6 o
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图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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