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消费电子透射 有机发光二极管（Organic Light-emitting Diode，简称OLED）又称为有机发光半导体，具有自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低能耗、极高反应速度等显著的优点。
/ @( L0 l D9 t: V 应用背景 1 f) u! H5 f* e7 V' {" w* V, q
OLED通常由多层功能材料成膜镀在基底上所构成，这些功能膜层包括阴阳电极，以及两极间的导电和光发射有机材料。目前，铟锡氧化物（简称ITO）有机膜层在OLED中得到较多的应用，该类氧化物晶格结构中含有氧原子的缺陷，为自由电子的运动和传输提供了空间，在两电极的作用下，自由电子发生定向运动，从而实现了ITO薄膜的导电特性；除能导电外，ITO薄膜还具有较高的透光性能，这是由于氧化物中原子键存在间隙，自由电子的密度不高，从而光线可以穿透ITO薄膜的结果。因此， OLED的光电性能与ITO薄膜的透过率密切相关，一般要求可见光区域的透过率高于80%。另一方面，薄膜的厚度势必会对光在其中的透过率产生影响，当厚度大于70nm时，透过率将减小。因而在OLED的生产和研发过程中，ITO导电膜的透过率以及厚度是需要被准确检测和表征的。 5 o8 _; S. S% ]9 H3 O. P3 W8 h
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图1. 左：OLED结构；右：OLED应用于显示屏
, e' D9 d' o3 M/ f4 c9 z; G8 N 应用测量原理介绍
! T; Z- j! |( }) w% `& Q. Y- e ITO薄膜的测量应用包括其在可见光波段的透过率以及薄膜的厚度。测量原理分别介绍如下： ( X$ W( g0 T6 ^0 x$ R3 k* o
透过率：透过是光线在物质中不同于反射和吸收的一种行为方式，透过率为穿过物质的光强相对于原始光强的百分比。 " y8 K$ {8 M8 `
薄膜厚度：薄膜厚度的测量是基于光波的干涉现象，具体可表述为光束照射在薄膜表面，由于入射介质、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系数值，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面发生反射，反射光波相互干涉，从而形成干涉光，这些干涉光在不同相位处的强度将随着薄膜的厚度发生变化。通过对干涉光的检测，结合适当的光学模型即可计算得到薄膜的厚度。 9 ^: P5 d, s! e ^2 n- X% k4 s
微型光纤光谱仪优势 * h3 \4 R. }8 e' y
微型光纤光谱仪在ITO薄膜检测中，具有以下显著的优势： 体积小巧，适合原位在线监测易于操作、控制低成本快速测量全谱海洋光学推荐应用配置
, f6 k% O3 X7 H5 w 1. ITO薄膜透过率检测联系我们 | 海洋光学YoukuBilibiliWeChat的微型光纤光谱仪，在配置采样平台STAGE-RTL以及光源后即可应用于ITO薄膜的透过率检测。具体配置如下： 6 i5 C5 U; Y3 U+ V& l' ]& _7 F
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紫外/可见光波段 % o, J, @; k) Z
近红外波段
# E1 ^+ k' F/ ], |1 I& z3 @( O 光谱仪 9 k8 [% Y! I/ w9 o7 Y' _5 S! M
USB系列, HR系列, QE65000 & B5 u' @! B$ n" _4 o( F
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Oceanview 1.6.3
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UV-VIS XSR Solarization-resistant, UV/SR-VIS High OH content, UV-VIS High OH content, SMA905 接头
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74系列准直镜，采样平台Stage-RTL-T
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, P2 n/ n' s8 b! c. F! h 图2. 薄膜透过率测量系统配置
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6 |' ?0 a% R& q- c S3 h& J 图3. 不同汽车玻璃在UV-VIS-NIR及NIR波段的透过率
: m7 i+ m+ [+ j* X! e9 \ 2. ITO薄膜膜厚检测 7 ]0 S9 X3 s# B/ P; B
海洋光学NanoCalc膜厚仪检测系统，配置有采样平台、UV-VIS反射探头，可应用于ITO薄膜的膜厚检测。具体配置如下： G' {. F% D2 A* c t5 K* r
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图4. 薄膜厚度测量系统配置 + I! W) w0 [3 v" [' t* x- G4 [: D$ O
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图5. NanoCalc膜厚仪系统参数 , I1 ]* y4 W4 T: s6 g8 z
' U+ Q' d' ]; t4 G `& u) o! W 图6. 薄膜材料厚度测量结果举例
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